Магнетронная приставка МП-104

Магнетронная приставка МП-104 предназначена для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. Применяются мишени из различных материалов. Диаметр мишени – 104мм.

Конструктивные особенности

МП-104 представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода и анода. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем на катод. Катод изолирован от анода изолятором.

Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого 10 (NdFeB) и цилиндрического, магнитопровода.

Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.

Источники питания:

• блок питания постоянного тока;
• блок питания переменного тока МВ-0,5 или МВ-1.