Пост вакуумный универсальный ВУП-7
Цена:По запросу
Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.
Особенности
- получает пленки металлов, сплавов, полупроводников, многокомпонентной керамики;
- производит распыление с одного-двух магнетронов одновременно или последовательно;
- позволяет комбинировать процессы распыления с различных физических источников без разгерметизации рабочего объема;
- позволяет нагревать и стабилизировать температуру подложки;
- позволяет вращать держатель подложки с заданной скоростью;
- позволяет производить ионную очистку образца;
- увеличенные габариты рабочего объема позволяют дополнительно размещать в нем несколько
- физических источников и средств контроля за процессами напыления;
- высокая скорость осаждения;
- получение особо чистых пленок;
- высокая адгезия пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
- низкая пористость пленок;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую поверхность;
- высокая энергетическая эффективность процессов.
Параметры | Значения | |
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
|
2×10 -4 6×10 -4 |
|
Диаметр мишени магнетрона, mm | 52 | |
Блок питания DC:
|
1000 500 |
|
Блок питания RF:
|
13,56 500 |
|
Блок питания ЭЛИ:
|
4 200 20 |
|
Блок термического испарения:
|
200 | |
Температура нагрева подложки, °C | 350 | |
Скорость вращения подложки, rpm | 5 - 15 | |
Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) | |
Размеры рабочего объема, mm | 400×400×400 | |
Масса прибора, kg, не более | 380 | |
Габаритные размеры, mm
|
690×610×1620 635×610×1150 |
|
Электрическое питание, V | 380 / 220 | |
Потребляемая мощность, kVA | 4,5 |
Система откачки | 01 | 02 | 03 | 04 | 05 | 06 | 07 | 08 | 09 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 |
Дифузионный насос, 220 V | + | + | + | + | + | ||||||||||
Турбомолекулярный насос, 220 V | + | + | + | + | + | ||||||||||
Турбомолекулярный насос, 115 V | + | + | + | + | + | ||||||||||
Устройства испарения | 01 | 02 | 03 | 04 | 05 | 06 | 07 | 08 | 09 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 |
Магнетрон DC | + | + | + | + | + | + | + | + | + | ||||||
Магнетрон RF | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||
Электронно-лучевой испаритель | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||
Термический испаритель | + | + | + | + | + | + | |||||||||
Держатель подложек с нагревателем | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + |
Ионная очистка объекта | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + |
Заказать Пост вакуумный универсальный ВУП-7 в Москве можно по телефону +7(495)182-77-48 или Email info@bronic.ru. Наличие, сроки доставки и актуальную цену Вам сообщат при звонке или по запросу наши менеджеры.