Пост вакуумный универсальный ВУП-7

Фото поста вакуумного универсального ВУП-7

Цена:По запросу

Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

Особенности

получает пленки металлов, сплавов, полупроводников, многокомпонентной керамики;
производит распыление с одного-двух магнетронов одновременно или последовательно;
позволяет комбинировать процессы распыления с различных физических источников без разгерметизации рабочего объема;
позволяет нагревать и стабилизировать температуру подложки;
позволяет вращать держатель подложки с заданной скоростью;
позволяет производить ионную очистку образца;
увеличенные габариты рабочего объема позволяют дополнительно размещать в нем несколько
физических источников и средств контроля за процессами напыления;
высокая скорость осаждения;
получение особо чистых пленок;
высокая адгезия пленок и подложки;
возможность изменения структуры и свойств пленок;
возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
низкая пористость пленок;
небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую поверхность;
высокая энергетическая эффективность процессов.

Технические характеристики
Параметры	Значения
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa: с диффузионным насосом и азотной ловушкой с турбомолекулярным насосом	2×10 ^-4 6×10 ^-4
Диаметр мишени магнетрона, mm	52
Блок питания DC: напряжение, V ток, mA	1000 500
Блок питания RF: частота, MHz мощность, W	13,56 500
Блок питания ЭЛИ: напряжение, kV ток, mA ток накала, A	4 200 20
Блок термического испарения: ток, A	200
Температура нагрева подложки, °C	350
Скорость вращения подложки, rpm	5 - 15
Система напуска и стабилизации давления газа	одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема, mm	400×400×400
Масса прибора, kg, не более	380
Габаритные размеры, mm стойка аналитическая стойка электрическая	690×610×1620 635×610×1150
Электрическое питание, V	380 / 220
Потребляемая мощность, kVA	4,5

Варианты исполнения приборов ВУП-7 для поставки
Система откачки	01	02	03	04	05	06	07	08	09	10	11	12	13	14	15
Дифузионный насос, 220 V	+	+	+	+	+
Турбомолекулярный насос, 220 V						+	+	+	+	+
Турбомолекулярный насос, 115 V											+	+	+	+	+
Устройства испарения	01	02	03	04	05	06	07	08	09	10	11	12	13	14	15
Магнетрон DC	+	+	+			+	+	+			+	+	+
Магнетрон RF	+	+	+	+		+	+	+	+		+	+	+	+
Электронно-лучевой испаритель	+	+		+	+	+	+		+	+	+	+		+	+
Термический испаритель	+				+	+				+	+				+
Держатель подложек с нагревателем	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+	+
Ионная очистка объекта	+	+		+	+	+	+		+	+	+	+		+	+

Заказать Пост вакуумный универсальный ВУП-7 в Москве можно по телефону +7(495)182-77-48 или Email info@bronic.ru. Наличие, сроки доставки и актуальную цену Вам сообщат при звонке или по запросу наши менеджеры.

Похожее оборудование