Вакуумный универсальный пост ВУП-5М
Цена:По запросу
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Область применения
Вакуумные универсальные посты широко используются в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.
Особенности
- универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
Параметры | Значения | |
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
|
2×10 -4 6×10 -4 |
|
Диаметр мишени магнетрона, mm | 40 | |
Блок питания DC магнетрона:
|
1100 300 |
|
Блок питания высоковольтный:
|
7 50 |
|
Блок термического испарения:
|
200 100 |
|
Температура нагрева подложки, °C | 350 | |
Скорость вращения подложки, rpm | 5 - 15 | |
Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) | |
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm | 300×300 | |
Масса прибора, kg, не более | 380 | |
Габаритные размеры, mm
|
620х630х1600 620х630х1400 |
|
Электрическое питание, V | 380 / 220 | |
Потребляемая мощность, kVA | 4,5 |
Система откачки | ВУП-5М-01 | ВУП-5М-02 | ВУП-5М-03 |
Дифузионный насос, 220 V | + | ||
Турбомолекулярный насос, 220 V | + | ||
Турбомолекулярный насос, 115 V | + |
Заказать Вакуумный универсальный пост ВУП-5М в Москве можно по телефону +7(495)182-77-48 или Email info@bronic.ru. Наличие, сроки доставки и актуальную цену Вам сообщат при звонке или по запросу наши менеджеры.